昨年７月４日。日本は韓国の半導体・ディスプレイ産業を狙った「核心材料輸出規制」を電撃断行した。当時、サムスン電子やＳＫハイニックス、ＬＧディスプレイなどは直撃を避けることは難しいという否定的な見通しが支配的だった。だが、ぼほ１年が経過した今月２３日、半導体・ディスプレイと材料・部品・装備業界の取材を総合すると「心配はただの心配にすぎず、かえって国産化を高める『転禍為福』になった」と口をそろえた。メーカーはいち早く材料供給元の多角化と材料・部品・装備の国産化に動き、政府は核心材料育成政策でこれを後押しした結果だという分析だ。

◆韓国、「国産化・多角化」体質改善に成功

日本は昨年７月、フッ化水素・フォトレジスト（感光液）・フッ化ポリイミドなど先端材料３品目の輸出に規制をかけた。３品目を「包括輸出許可」から「件別許可」対象に切り替え、８月には輸出許可簡素化対象国である「ホワイト国」リストから韓国を除外した。３品目は半導体・ディスプレイ産業の核心素材だが、日本の依存度が９０％にもなっていた。日本が韓国の半導体・ディスプレイ産業の構造的脆弱性を鋭く狙ったことになる。

だが、日本の輸出規制はむしろ変わろうとしなかった国内企業を変化に導いた。何より日本に依存していた供給元の多角化と国産化にいち早く飛び込んだ。韓国半導体・ディスプレイ技術学会の朴在勤（パク・ジェグン）会長〔漢陽（ハンヤン）大学融合電子工学部教授〕は「日本が寝ていた韓国を起こした」と表現した。朴会長は「日本の輸出規制がなかったら、今のように積極的に国産化と多角化に出なかっただろう」と語った。

◆フッ化水素の国産化成功…１００％代替

まず、日本の輸出規制から１年で材料・部品・装備の国産化成果が次々と出てきている。ＳＫマテリアルズは海外依存度が１００％だった気体フッ化水素の国産化に成功したと１７日、発表した。すでに純度９９．９９９％の量産を始めたし、年間１５トン規模で始め、今後３年内に国産化率を７０％まで引き上げる計画だ。フッ化水素は半導体基板であるシリコンウェハーに描かれた回路図にしたがって基板を削っるエッチング工程に使われる。

液体フッ化水素はすでに昨年輸出規制措置直後、ソルブレイン（Ｓｏｕｌｂｒａｉｎ）やラムテクノロジーが工場増設を通じて大量生産に成功した。サムスンディスプレイやＬＧディスプレイなど、ディスプレイ業界は１年で日本産の液体フッ化水素を１００％国内企業製品に切り替えた状態だ。半導体分野でもサムスン電子とＳＫハイニックスが液体フッ化水素は国産製品の使用比重を増やしたほか、気体フッ化水素は米国などを通して輸入多角化で対応した。

半導体基板の製作に使われる感光液であるフォトレジスト（ＰＲ）は一時日本依存度が９２％に達していた。現在はベルギー・ドイツなど供給元が増えた。国内企業の中でも、フッ化アルゴン（ＡｒＦ）フォトレジストを生産する東進（トンジン）セミケムが今年初めに工場増設を確定した。ＳＫマテリアルズもＡｒＦフォトレジスト開発のために来年までに工場を完工させて２０２２年から量産に入る。

日本の攻撃に日本が被害…輸出規制から１年、韓国の驚くべき変化（２）